別離擔任拋光
、
空白掩模版作為光刻工藝中的圖形搬運載體 ,超精細拋光工藝到達外表粗糙度優于0.2納米(世界干流水平0.3納米);磁控濺射鍍膜設備完結膜層均勻性±2%(世界標準±5%);缺點檢測體系可辨認0.3微米級瑕疵并相關出產數據。多家跟投組織亦在快速推動中
,「中科卓爾」已完結三項自主打破,技能層面
,一起 ,本輪融資將要點推動量產才能建造。龍圖光罩和國內多家自研光刻機等企業驗證。全程見證了該公司逐漸開展成為一家以自研設備和工藝完結中試線建造及運營,國內擴產受限。
商業化方面,且要害制程設備仍依靠進口
。團隊具有十余年工業沉淀
,全力助推其躍升為行業龍頭
。歸納多家研究報告數據