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電子束曝光與缺點檢測等空白掩模版出產中的中心設備長時間受美日出口操控 ,超精細拋光工藝到達外表粗糙度優于0.2納米(世界干流水平0.3納米);磁控濺射鍍膜設備完結膜層均勻性±2%(世界標準±5%);缺點檢測體系可辨認0.3微米級瑕疵并相關出產數據  。當時簡直被日本HOYA、一起