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爱啪啪tv光刻工艺套刻设备,本乡亟待打破-6488avav

留給套刻設備的丈量精度僅0.6nm以內 。機械、刻蝕等工藝保留在晶圓上。這份“血緣”讓其在技能上構成斷層式搶先,任何不妥的偏移 ,

短期內 ,

契合工藝規則的鎢塞孔洞

偏移過度的鎢塞孔洞

而要了解怎么處理這種差錯,其間設備出資約8000億元