其國產(chǎn)化是我國半導(dǎo)體設(shè)備自主化的要害一役 。估計(jì)晶圓廠建造出資超萬億元，Overlay設(shè)備相對(duì)一般要害尺度的量測設(shè)備要丈量更小的方針參數(shù) ，這種“授人以漁”的協(xié)作形式 ，

巨子操縱的商場

當(dāng)時(shí)Overlay商場由美國KLA公司和荷蘭ASML公司雙寡頭主導(dǎo)